對于直線模組（或叫線性模組、直線滑臺、機械手）來說，定位精度、重復定位精度、運行平行度、運行直線度......這些是衡量一條直線模組品質的幾個關鍵指標。

1、定位精度：

      直線模組在設定的條件下運行，實際到達的位置和設定到達的位置誤差。比如設定運行距離為100 mm，結果實際上走了100.01mm，多出來的 0.01mm就是定位精度。

2、重復定位精度：

      將模組設定一個運行停止位置，多次運行定位過去產生的誤差。比如設定運行100 mm，  結果第一次實際上走了 100.01mm，第二次他走了99.99mm, 這之間的誤差0.02mm就是重復定位精度。

3、運行平行度：

      直線模組在設定的條件下運行，滑塊運動的平面與水平面之間的高度誤差。比如模組運行到20mm時，與水平面之間的高度是66.01mm，運行到50mm時，與水平面之間的高度是66.03mm,這之間相差的0.02mm就是運行平行度。

4、運行直線度：

      直線模組在設定的條件下運行，滑塊的運行軌跡偏離直線的距離誤差。比如模組運行到50mm時，滑塊中心距離基準側的距離是50.01mm,運行到200mm時，滑塊中心距離基準側的距離是49.91mm，那么相差的這0.1mm即是運行直線度。

檢測工具：

1、大理石平臺

2、激光干涉儀

3、直線模組

4、電氣控制

5、設定的模擬負載